戸沢 正美 | 清水建設 (株) 設計本部
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概要
清水建設 (株) 設計本部 | 論文
- クリーンルームにおける表面汚染評価方法に関する研究 : 基板表面の溶媒抽出拭取り法によるイオン性物質の評価方法(2002年度大会 (北陸) 学術講演梗概集)
- 4218 部分層流指揮クリーンルームにおける気流・清浄度制御(その1) : 三つのタイプのクリーントンネルにおける粒子濃度とウエハ付着粒子数の比較
- 4217 部分層流指揮クリーンルームにおける気流・清浄度制御(その1) : 三つのタイプのクリーントンネルにおける気流分布の比較
- 4137 非層流型クリーンルームの設計法に関する研究(その1) : 浮遊微粒子濃度と空気清浄度について
- 41457 濡面式空気清浄装置のガス状有機化合物処理特性に関する研究(空気汚染物質の挙動解析および測定法, 環境工学II)