石井 信雄 | Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan
スポンサーリンク
概要
- 石井 信雄の詳細を見る
- 同名の論文著者
- Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japanの論文著者
Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan | 論文
- B-1-100 大口径均一プラズマ生成用表面波励振形式ラジアルラインスロットアンテナの電磁界分布
- 反応性ガスプラズマのパラメータ測定
- ECR C_4F_8プラズマにおけるCFxラジカル絶対密度の空間分布の計測とその分布形成機構
- CFxラジカル絶対密度のIRLAS空間分布測定
- ラジアルラインスロットアンテナを用いた大口径均一プラズマの生成