末広 和昭 | 佐賀大・理工

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概要

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佐賀大・理工 | 論文

• ハイブリッドプラズマCVDによる炭素膜作製に及ぼす基板温度の影響
• プロセスプラズマの診断と制御
• 光CVDによる光学薄膜の合成
• 5p-F6-1 磁化プラズマ中の電位緩和過程
• 5p-C4-3 プラズマプロセシング用高周波磁化プラズマ源の開発

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