Komano Haruki | ULSI Research Center, Toshiba Corp., 1 Komukai Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki 210

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ULSI Research Center, Toshiba Corp., 1 Komukai Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki 210 | 論文

• Silicon Oxide Film Formation by Focused Ion Beam (FIB)-Assisted Deposition

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