Nakanishi Toshio | Tokyo Electron AT, SPA Development Engineering Dept., 1-8 Fuso-cho, Amagasaki, Hyogo 660-0891, Japan

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Tokyo Electron AT, SPA Development Engineering Dept., 1-8 Fuso-cho, Amagasaki, Hyogo 660-0891, Japan | 論文

• Characterization of Strain for High-Performance Metal–Oxide–Semiconductor Field-Effect-Transistor

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