Suita Muneyoshi | Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corp., 8-1-1 Tsukaguchi-Honmachi, Amagasaki, Hyogo 661, Japan

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Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corp., 8-1-1 Tsukaguchi-Honmachi, Amagasaki, Hyogo 661, Japan | 論文

• Critical Dimension Control in Synchrotron Radiation Lithography Using a Negative-Tone Chemical Amplification Resist

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