中川 茂樹 | 東京工業大学大学電子物理工学科

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概要

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• 東京工業大学大学電子物理工学科の論文著者

東京工業大学大学電子物理工学科 | 論文

• 裏打ち軟磁性層用スピネルフェライト薄膜の高速成膜技術
• 反応性対向ターゲット式スパッタ法による Mn-Zn フェライト薄膜の高速成膜
• 裏打ち軟磁性層用スピネルフェライト薄膜の高速成膜技術
• High Rate Deposition of Mn-Zn Spinel Ferrite Thin Films Using Reactive Facing-Target Sputtering.
• Co-Cr系合金薄膜の結晶成長と熱処理効果

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