Matsumoto Koh | TN EMC Ltd., 2008-2 Wada, Tama-city, Tokyo 206-0001, Japan

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TN EMC Ltd., 2008-2 Wada, Tama-city, Tokyo 206-0001, Japan | 論文

• Control of Thickness and Composition Variation of AlGaN/GaN on 6- and 8-in. Substrates Using Multiwafer High-Growth-Rate Metal Organic Chemical Vapor Deposition Tool

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