鈴木 清輝 | Information Equipment System Engineering Dept., Koito Industries, Ltd.
スポンサーリンク
概要
Information Equipment System Engineering Dept., Koito Industries, Ltd. | 論文
- 薄膜材料の引張試験 - 低延性薄膜材料の破断伸びに対する標点間距離の影響 -
- スパッタチタン薄膜の機械的特性 : 薄膜微細組織の透過電子顕微鏡観察
- 特集論文 Effect of Ar Gas Pressure on Mechanical Properties of Sputtered Ti Thin Films (特集:MEMS/NEMS材料特性および信頼性評価)
- OS6(P)-26(OS06W0224) Effect of Ar Gas Pressure on Growth, Structure, and Mechanical Properties of Sputtered Ti Thin Films