Mabuchi Mahito | Department of Nuclear Engineering,Kyoto University:Department of Physics,Kyoto University

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概要

• 同名の論文著者
• Department of Nuclear Engineering,Kyoto University:Department of Physics,Kyoto Universityの論文著者

論文 | ランダム

• マルチビーム薄膜形成装置の開発
• イオンビーム技術の過去・現在・未来
• デカボランイオン注入による損傷の形成とその増速拡散への影響
• イオン衝突によるシリコン表面欠陥の高温STM観察
• クラスターイオン注入とデバイスプロセス

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