Nosaka Kazunori | Exercise and Sports Science,Department of Environmental Science,Yokohama City University

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概要

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• Exercise and Sports Science,Department of Environmental Science,Yokohama City Universityの論文著者

論文 | ランダム

• 30p-N-18 高選択比酸化膜エッチングにおけるフルオロカーボン膜形成へのイオンの影響
• 30p-N-6 コンパクトマイクロ波ラジカルビーム源の開発とその特性評価
• 30p-N-3 LIFによるRF SiH_4/SiH_2Cl_2プラズマ中のSiH_2ラジカル計測
• 30p-N-2 SiH_4-Arプラズマ中のSiH_2ラジカルの温度計測
• 28a-SQ-11 ECRプラズマアニールにおけるa-Si:H薄膜表面反応のDCバイアス及び基板温度効果

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