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UEDA Tetsuji | 2nd Development Department, Transmission Devices Division, NEC Corporation
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2nd Development Department, Transmission Devices Division, NEC Corporation | 論文
Design, Process, and Evaluation of a Tunable Optical Fabry-Perrot Filter Using a Silicon Capacitive Pressure Sensor(Special Issue on Current Electromechanical Devices and Their Materials with Recent Innovations)
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