Nomura M. | Tohoku Univ., School of Engineering:JST PRESTO

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概要

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• 同名の論文著者
• Tohoku Univ., School of Engineering:JST PRESTOの論文著者

論文 | ランダム

• センサフュージョンによる研削加工の監視
• 磁歪式トルクセンサを用いたフライス加工プロセスの監視
• 磁歪式切削抵抗四分力検出センサの開発基礎研究
• パラレルリンク式6自由度微動テーブルの設計
• CMPにおけるシリコンウェハ接触面の圧力分布について

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