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Imai Toshinori | Device Development Center, Hitachi, Ltd., 6-16-3 Shinmachi, Ome, Tokyo 198-8512, Japan
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Device Development Center, Hitachi, Ltd., 6-16-3 Shinmachi, Ome, Tokyo 198-8512, Japan | 論文
Impact of Self-Aligned Metal Capping Method on Submicron Copper Interconnections
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