YEO In-Seok | Advanced Process Team, Memory R&D Div., Hynix Semiconductor, Inc.

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概要

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Advanced Process Team, Memory R&D Div., Hynix Semiconductor, Inc. | 論文

• Ultrathin Nitrided-Nanolaminate (Al_2O_3/ZrO_2/Al_2O_3) for Gate Dielectrics Application

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