Lee Joo-Wan | Memory Research and Development Division, Hynix Semiconductor, Incorporation, Ichon-Si, Kyoungki-do 467-701, Korea

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Memory Research and Development Division, Hynix Semiconductor, Incorporation, Ichon-Si, Kyoungki-do 467-701, Korea | 論文

• Physical and Electrical Characteristics of Physical Vapor-Deposited Tungsten for Bit Line Process

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