Uraoka Yukiharu | Graduate School of Materials Science, Nara Institute of Science and Technology, 8916-5, Takayama, Ikoma, Nara 630-0192, Japan

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• Graduate School of Materials Science, Nara Institute of Science and Technology, 8916-5, Takayama, Ikoma, Nara 630-0192, Japanの論文著者

Graduate School of Materials Science, Nara Institute of Science and Technology, 8916-5, Takayama, Ikoma, Nara 630-0192, Japan | 論文

• Thermal Etching of 4H-SiC(0001) Si Faces in the Mixed Gas of Chlorine and Oxygen

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