Nagayama Tokuro | Dept. of Pediatric, Kyushu Univ.

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概要

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論文 | ランダム

• STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第2報):気孔制御による低スクラッチ化
• シリコンウェハの加工 STI用固定砥粒CMP (特集 高付加価値を生み出す固定砥粒研磨技術)
• STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発 : 砥粒の選定
• P-13 具体的事物に対する色嗜好表出(ポスター発表,第40回全国大会要旨集)
• マルチ工具を用いた加工力の動的制御による非球面ミラー研磨加工技術

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