Kwak Nohjung | R&D Division, Hynix Semiconductor Inc., San 136-1, Ami-ri, Bubal-eup, Icheon, Gyeonggi-do 467-701, Korea

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R&D Division, Hynix Semiconductor Inc., San 136-1, Ami-ri, Bubal-eup, Icheon, Gyeonggi-do 467-701, Korea | 論文

• Characteristics of Cobalt Films Deposited by Metal Organic Chemical Vapor Deposition Method Using Dicobalt Hexacarbonyl tert-Butylacetylene

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