Park Sang-Duk | Department of Materials Science & Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, Kyunggi-do 440-746, Korea

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Department of Materials Science & Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, Kyunggi-do 440-746, Korea | 論文

• Precise Depth Control of Silicon Etching Using Chlorine Atomic Layer Etching

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