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Kondo Akihiro | Department of Electric and Electronic Engineering, Gifu University, Gifu 501-1193, Japan
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Department of Electric and Electronic Engineering, Gifu University, Gifu 501-1193, Japanの論文著者
Department of Electric and Electronic Engineering, Gifu University, Gifu 501-1193, Japan | 論文
Film Properties of Nanocrystalline 3C–SiC Thin Films Deposited on Glass Substrates by Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Using CH4 as a Carbon Source
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