Totsuka Masahiro | High Frequency and Optoelectronic Devices Works, Mitsubishi Electric Co., Ltd., 4-1 Mizuhara, Itami, Hyogo 664-8641, Japan

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High Frequency and Optoelectronic Devices Works, Mitsubishi Electric Co., Ltd., 4-1 Mizuhara, Itami, Hyogo 664-8641, Japan | 論文

• Effect of Oxidation using Ultraviolet Light and Ozone and Subsequent Nitridation using Electron Cyclotron Resonance Plasma on Gate Portion of GaAs Field-Effect Transistors

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