IHARA Takashi | Kokusai Electric Co., Ltd.

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概要

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Kokusai Electric Co., Ltd. | 論文

• Generation of Large Dislocation Loops in Silicon Crystals
• Hexagonal Platelets Observed in Nickel Diffused Silicon
• Anomalous Etch Patterns in Highly Doped Silicon
• Infrared Observation of Anomalous Patterns in Highly Doped Silicon
• Non-magnetic Plasma Source which Combines Microwaves with an Inductively Coupled Plasma

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