Deng Hai | Intel Corporation, 5200 N.E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124, U.S.A.

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Intel Corporation, 5200 N.E. Elam Young Parkway, Hillsboro, Oregon 97124, U.S.A. | 論文

• Polymer-Structure Dependence of Acid Generation in Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists

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