IKEUCHI Tatsuro | Div. Genet. Med. Res. Inst., Tokyo Med. Sent. Univ.

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概要

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論文 | ランダム

• 酸素プラズマ中でのSi表面水素の拳動
• 走査プラズマ法を用いた高分子フィルム上へのZnO薄膜の低温形成
• MgO薄膜高速成膜のための誘導結合プラズマ支援反応性スパッタリング法の開発
• 基板表面磁界がスパッタ薄膜結晶配向性に及ぼす影響
• 半導体表面・界面反応の赤外分光観察

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