KAMIHASHI Susumu | Microwave Solid-State Department, Komukai Works, Toshiba Corporation

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概要

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Microwave Solid-State Department, Komukai Works, Toshiba Corporation | 論文

• An/TaN/WN/GaAs Structure Schottky Gate Formation for Self-Aligned GaAs MESFET
• Thermal Oxidation of Sputtered TaN Films and Properties of the Oxidized Films

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