NAKAJIMA Yoshijiro | Ohta's Isan Inc.

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概要

• 同名の論文著者
• Ohta's Isan Inc.の論文著者

論文 | ランダム

• ナノインプリント技術のホログラムへの応用
• SOGレジストの電子ビーム露光特性
• FIB-CVD法を用いて作製したDLC膜の微細構造解析
• FIB-CVD法によるDLC成形プロセスとその特性評価(マイクロマテリアル)
• ナノ・マイクロ加工のためのドライエッチング技術

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