Kawakami Koichi | Graduate Univ. For Advanced Studies (sokendai) Shizuoka Jpn
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概要
論文 | ランダム
- 高周波 - 直流結合形マグネトロンスパッタリングによる薄膜物性制御
- C-6-14 RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTiNi_x薄膜の作製
- 変形磁界型高周波マグネトロンスパッタ法によるNi薄膜の堆積速度
- 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるNiターゲットを用いた放電特性と直流バイアスによるNi薄膜の堆積速度制御効果
- 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるWN_x薄膜の作製とCu/WN_x/Si構造の拡散バリア効果