諫本 圭史 | サンテック(株)製品開発部

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概要

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• 同名の論文著者
• サンテック(株)製品開発部の論文著者

サンテック(株)製品開発部 | 論文

• 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
• 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル

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