渕脇 正樹 | 九州工業大学大学院 情報工学研究院

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概要

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• 九州工業大学大学院 情報工学研究院の論文著者

九州工業大学大学院 情報工学研究院 | 論文

• 半導体製造プロセスにおけるトライボロジーの諸問題 (特集1 半導体製造プロセス)
• S1303-1-4 2波長のレーザ回折によるオンマシン工具測定精度向上の試み(加工計測・評価システム(1))
• CMP加工とトライボロジー : CMP加工における材料除去メカニズム
• ファインセラミックスの超精密ポリシング
• ヨーロッパ精密工学会 第10回記念国際会議(euspen 2008)報告

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