堀内 昭一 | 日立 那珂工場

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概要

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日立 那珂工場 | 論文

• 超微細電子ビ-ム描画装置"HL-700F"
• 電子線描画装置の高度利用技術の開発 (半導体製造装置)
• 新型半導体センサを採用した微差圧伝送器 (流量計測の新しいセンシング技術)
• 拡散形半導体ストレインゲ-ジ応用伝送器 (工業計器)
• 総合計装システムユニトロ-ルEXシリ-ズ (ト-タルFAを推進する総合計装システム)

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