菊地 秀彦 | 日本テレビ放送網 技術戦略セ

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概要

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• 日本テレビ放送網 技術戦略セの論文著者

論文 | ランダム

• 第28回真空展VACUUM2006併設「真空トピックス」の報告
• スパッタリング製膜プロセスの研究における最近の展開
• 窒化チタンの反応性スパッタ製膜における真空環境の影響
• 電力一定放電下の反応性スパッタリングによる酸化シリコンの組成制御
• X線光電子分光法の深さ方向分析から分かるSi基板上In島状膜の構造およびその膜厚変化

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