土肥 正 | 広島大学工学部第二類 (電気系)

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概要

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• 広島大学工学部第二類 (電気系)の論文著者

広島大学工学部第二類 (電気系) | 論文

• カーボンナノチューブ・C_で作製した複合冷陰極の電界電子放出特性
• カーボンナノチューブの欠陥構造とその電子物性
• 409 数値制御局所ドライエッチングによる Si ウェーハ平坦化
• SF_6ダウンストリームプラズマを利用した数値制御局所ドライエッチング(NC-LDE)の加工特性
• 数値制御ドライ平坦化におけるナノトポグラフィー

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