鱗原 晴彦 | U'eyes Design

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概要

• 同名の論文著者
• U'eyes Designの論文著者

論文 | ランダム

• 熱インプリント法におけるモールドの側壁ラフネスと離型性の関係
• 移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発
• リソグラフィを用いない新規なカンチレバー作製プロセス
• 新しい離型層を用いた付着法によるNiカンチレバーの作製
• イメージリバーサルレジストを犠牲層とした付着の少ない表面マイクロマシン作製プロセス

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