岩下 平輔 | ファナック FA事業本部 サーボ研究所
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概要
論文 | ランダム
- 609 電子ビームによる直接描画を利用したGaAs半導体のマイクロファブリケーション(OS11-2 特殊加工,オーガナイズドセッション:11 加工技術の高度化)
- 325 ダイヤモンドアレイ工具を応用した加工用AFMカンチレバーの開発(OS-16 微細加工と表面機能)
- シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第2報) : 任意切れ刃を持った加工用カンチレバーの作製
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元微細構造形成
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第5報,マスク層の加工条件依存性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)