Wang Xin | College of Food Science and Engineering, Jilin University|College of Mechanical and Automotive Engineering, Jiaxing Vocational Technology College
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概要
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論文 | ランダム
- 静圧シール型真空ピンチャックの開発
- 小形工具による大口径ウエハの形状修正研磨第1報 : シミュレーションによる最適研磨条件の検討
- 真空ピンチャックによる凹凸ウエハの矯正能力(第4報) : 8インチチャックの周辺矯正能力
- 研磨による大口径ウエハの形状修正(第2報) : ポリシャ形状の影響
- CMPポリシャのドレッシング(第1報) : ポリシャ表面状態に及ぼすドレッシング条件の影響