小原 直美 | 広島大・産学連携センター
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概要
論文 | ランダム
- 28a-K-2 ECRプラズマCVDSiO_2パターニング基板へのSi選択成長
- 30p-ZK-12 反応性スパッタ法によるエピタキシャルYSZ/Si界面へのSiO_2層の形成
- 30p-ZK-11 反応性スパッタ法で作製したエピタキシャルYSZ/Si構造における界面遷移層の評価
- 28p-YG-1 IBS法によるエピタキシャルSiGeへのBのin-situ高濃度ドーピング
- 金属モードスパッタリングによるエピタキシャル高・強誘電体薄膜の作製