生井 貞行 | Tokyo Metropolitan Chitose Highschool.
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概要
論文 | ランダム
- 29p-N-14 低誘電率有機材料を用いたCuダマシンによる配線形成
- 30p-N-11 平行平板CH_3OH, CH_4, RFプラズマにおけるCH_3, OH, Hラジカルのダイヤモンド形成への影響
- Hラジカルを導入したRF CH3OHプラズマによるダイヤモンドの形成
- 31p-D-2 マイクロ波H_2プラズマを併用したRFプラズマCVDによる針状カーボン薄膜の形成
- 28a-A-11 RFとマイクロ波を併用したプラズマCVDを用いたダイヤモンド形成における炭素源ガス変化の影響