菊地 秀和 | ASET

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概要

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• ASETの論文著者

ASET | 論文

• リソグラフィ用2KHz KrF エキシマレーザの開発
• ステッパー用高安定出力狭帯域エキシマレーザー
• 半導体の超微細加工に用いられるKrF 1kHzエキシマレ-ザ用電源装置 (電力変換装置特集) -- (エネルギ-の有効利用)
• マイクロリソグラフィ用超狭帯域化F_2レーザシステムの実用化研究
• マイクロリソグラフィ用超狭帯域化F_2レーザシステムの実用化研究

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