川元 暁 | 大阪大学大学院生，現在：三菱電機株式会社中央研究所
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概要
論文 | ランダム
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- 30a-SYK-18 誘導結合プラズマによる多結晶シリコン薄膜の低温形成 : 大粒径化と高速堆積