谷口 正 | 奈良工技センター

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概要

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奈良工技センター | 論文

• 402 イオンビームミキシング法により作製した TiN 薄膜の X 線残留応力測定
• 122 AIP 法による TiN 皮膜の X 線残留応力測定

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