田所 孝広 | _(株)_日立製作所　日立研究所

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概要

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• _(株)_日立製作所　日立研究所の論文著者

論文 | ランダム

• レーザ光散乱法によるSiウエハ付着超微粒子計測
• レーザー光散乱法によるSiウエハ表面上のナノパーティクルの計測
• 光ファイバからの点光源回折球面波を計測の絶対基準とした位相シフト光干渉計の開発
• 光散乱法によるSiウエハ表面欠陥の大面積計測
• 着衣の身体に対するサイズ適合性評価法-2-着衣形状波形の視覚特性化のための対称化ドットパタ-ン手法の応用

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