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濵田 聡美 | 荏原製作所 技術統括部
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薄い銀蒸着膜の構造と内部応力, 電気抵抗 : 表面物理, 薄膜
503 半導体用高誘電率薄膜の絶縁特性の結晶欠陥依存性(材料工学I,機素潤滑設計,材料工学,設計工学)
5a-C-12 両電極分割型イオン・マグネトロン
3a-J-11 イオン・マグネトロン
30p-Q-5 イオンによるペニング放電
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