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國分 正胤 | 社團法人土木學會|東京大学, 第一工学部土木工学科教室
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29a-PB-19 Ta汚染による酸化膜耐圧劣化要因の検討-1
30a-D-8 シリコンウェハに及ぼすTi汚染の悪影響-1
30a-D-5 Ti汚染による酸化膜耐圧劣化要因の検討
29a-F-6 SPVによるSiウェハ表面の汚染金属の検出-1
27a-L-4 Si表面のCF_4処理によるゲート酸化膜の耐圧劣化-2
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