小松 賢志 | 京都大学　放生研

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概要

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• 京都大学　放生研の論文著者

論文 | ランダム

• 静圧シール型真空ピンチャックの開発
• 小形工具による大口径ウエハの形状修正研磨第1報 : シミュレーションによる最適研磨条件の検討
• 真空ピンチャックによる凹凸ウエハの矯正能力(第4報) : 8インチチャックの周辺矯正能力
• 研磨による大口径ウエハの形状修正(第2報) : ポリシャ形状の影響
• CMPポリシャのドレッシング(第1報) : ポリシャ表面状態に及ぼすドレッシング条件の影響

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