谷本 親伯 | 社団法人土木学会|京都大学大学院工学研究科土木工学専攻|現 大阪大学工学部土木工学科
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概要
論文 | ランダム
- 高移動速度ロータ型CMP装置の試作と基本特性
- Siウエハポリシング面のAFMによるあらさの評価(第12報) コンタミネーションの評価
- テトラ-メチル-アンモニウム-ヒドロキシド(TMAH)を用いたシリコンウェーハの研磨加工及びAFMによる原子スケール加工の研究
- Siウエハポリシング面のAFMによるあらさの評価(第11報) SiO_2探針による加工法
- テトラ-メチル-アンモニウム-のEMCポリシング (電気機械化学作用複合研磨)