長谷川 孝子 | 名古屋文理短大

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概要

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• 名古屋文理短大の論文著者

名古屋文理短大 | 論文

• 静磁界を用いた CVD 用プラズマ源の開発
• 25p-E-1 ダブルプラズマ装置による2電子温度プラズマの温度比制御
• 27a-ZA-10 新しい2電子温度プラズマ源とその応用 : potential制御の側面から
• 3a-R-1 直熱型フィラメントによる2電子温度プラズマ放電
• 30a-QE-4 永久磁石を用いたCRプラズマの特性

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