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原田 貴之 | 関西大学大学院 理工学研究科
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31p-P-8 変形マグネトロン型高周波放電プラズマにおける基板入射イオンエネルギー分布
30p-R-8 変形マグネトロン型高周波放電プラズマの高密度化
30a-R-11 変形マグネトロン型高周波放電プラズマの均一大面積化
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