畠 瞳美 | 新潟大学・院
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概要
新潟大学・院 | 論文
- 超精密加工用真空チャックの熱変形による平面度変化の解析(第2報) : 平面度変化のメカニズムの実験による解明
- 超精密加工用真空チャックの熱変形による平面度変化の解析 (第1報) : 真空チャックの熱的挙動
- 熱変形に基づく真空チャックの平面度変化 (第3報 ボルトのスラストの影響・接触面摩擦係数の測定)
- 熱変形に基づく真空チャックの平面度変化(第2報 変位の拘束効果と平面度変化)
- 熱変形に基づく真空チャックの平面度変化(FEM数値解析の結果)