臼杵 年 | 島根大　大学院 総合理工学研究科 建築･生産設計工学領域

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論文 | ランダム

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• 真空製膜による薄膜の密着性 : −密着に及ぼす各種因子と改善方法−
• スパッタリング (特集 高機能を付与する成膜技術最前線) -- (プロセス技術編)

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